特集・半導体ガス

22/05/10

 半導体産業が好調に推移する中、そこで使われる半導体ガスの需要も増加傾向にある。半導体材料ガスは、その用途によって非常に多くの種類を持つことが特徴の一つとなる。前工程のエッジングや成膜・CVD、ウエハの汚染やゴミをガスでドライクリーニング、リソグラフィーで半導体のパターンを作る過程などで使われる。現在、半導体のマーケットは年率10パーセント近くの成長で需要は旺盛だが、いきなり生産を増やすことは難しく、リードタイムが長い。装置は半年から1年、今はさらに納期が遅れ、生産品目も戦略的に決められるため、例えばデータ通信向け需要が旺盛で自動車向けが追いやられる、という状況も生まれる。メーカーはフル稼働の状況でパイを増やすしかないが、部品の調達遅れ、納期遅れなどで設備を取り巻く状況は追っかけっこになっている。このような半導体産業を取り巻く状況の中、半導体材料ガスにおいては、一部に入手が困難になっているガスもみられるが、代替ガスを模索して生産現場のニーズに応えるなど、高圧ガス業界は半導体産業界に重要な役割を果たしている。
【第3433号】

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