特集:半導体材料ガス

21/05/18

 半導体産業を支える半導体材料ガスは、爆発性があり、毒性が非常に高いため事故防止のための保安対策や防爆対策が不可欠だ。モノシランやホスフィン、アルシン、ジシランなどといった可燃性、毒性の高いガスは特殊高圧ガスとして高圧ガス保安法により取り扱いには厳格な規定が設けられている。ともに大気中に放出すると自然発火や分解爆発を生じる。また、極めて強い毒性と腐食性を有するガスで化学的に活性なためその他の物質とも急激に反応する。たとえば、濃度の高いモノシランを大気中に流出させると燃焼し、火炎温度は900度近くにも及ぶ。
【第3386号】

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