古河電工、千葉事業所内で有毒ガス漏洩

18/01/25

古河電気工業は1月16日、同社千葉事業所(千葉県市原市)に所在する子会社、古河ファイテルオプティカルデバイスの光半導体製造工場内で発生したガスの漏洩事故について、同日9時現在の状況を発表した。【発生漏洩した有毒ガスの内容】除害筒で無害化した生成物が空気と化学反応し、リン系ガス(ホスフィン含む)とヒ素系ガス(アルシン含む)が発生したと推測される。内容はInGaAsP(インジウムガリウムヒ素リン)などの光半導体を製造する際に用いる無機化合物。アルシン、ホスフィンともに半導体製造工程の原料ガスとして使用している。
【第16159号】

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