キャノンMJ、マイクロX線CT顕微鏡、0・5マイクロメートルの分解能

21/01/20

近年、半導体、エネルギー、自動車などの分野において、製品の小型化、精密化が進み、複雑で繊細な製品が増加する一方で、高い信頼性と品質の維持が求められている。そのため検査などにおいて、対象物を非破壊で製品内部や表面の微細な形状など目では見えない領域の異物や破損を検査が可能なX線CT装置のニーズが高まっている。このような状況下、キヤノンマーケティングジャパン(東京・港区、坂田正社長)が発売する米国シグレイ社製のマイクロX線CT顕微鏡「PrismaXRM」は0・5マイクロメートルと高い空間分解能を持ち、加えて吸収像・位相像・暗視野像(散乱像)を取得するトライ・コントラストモードに対応し、重元素から軽元素まで幅広い材料における高コントラストでの可視化を実現。最大150ミリの観察視野での測定ができる。

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