「セミコン・ジャパン 2019」開催、産業ガス関連企業が出展

19/12/16

 産業ガス関連からは、巴商会がリンデ製のエキシマレーザ・レアガスや有機金属化合物、特殊材料ガス、定番商品の容器元弁遮断装置VSバルブシャッター、スマートキャビネットシリーズなどを展示したほか、水素ステーションを運営する巴商会が取り扱う「圧縮水素自動車燃料装置用Type4容器」などをPRした。
 日本市場向けのType4容器は、韓国・ILJIN Composites社製の容器にイタリア・OMB Saleri社のバルブを附属して国内で販売されるもので、UNR134認証と材料のKHK委託検査証明書を取得している。国内の燃料電池トラックの実証試験などで既に採用されており、今後、燃料電池自動車だけでなく、バスなどの産業用自動車や鉄道分野への用途も想定している。
 九州パビリオン大分県LSIクラスター形成推進会議内にブース出展したウエキコーポレーションは、プラクスエア製スパッタリングターゲットや東芝製の窒化アルミニウム(AlN)のサブマウント基板、興研製のテーブル上にクラス1のスーパークリーン空間を実現する「テーブルコーチ」などの同社取扱い製品を紹介した。
 AlNサブマウント基板は、高い熱伝導率や強度の優れた特性を持つ基板にTi/Pt/Au薄膜やAuSnはんだをパターン形成したもので、DVD・CDの光ピックアップや光通信用、低出力から高出力のレーザダイオード、高放熱性要求の深紫外や高出力LED用放熱基板などの用途に応用されている。

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